32 ■総合性能カーブ MTS 50HzTM07 1667 161910203040506080100Q [l/min]01234567891011[MPa]MTS50 Hz1 mm2/s4020図1. 総合性能カーブ MTS 50Hz（1 mm2/s）10203040506080100Q [l/min]01234567891011[MPa]MTS50 Hz20 mm2/s4020TM07 1668 1619図2. 総合性能カーブ MTS 50Hz（20 mm2/s）テクニカルデータMTS model Cテクニカルデータ
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